產品特點
最小檢測元件:>50μm
檢測速度:3FOV/s(解析度2.4-4μm)
可量化輸出偏移量、旋轉角度、共線性等值
可以據工藝定制光源
可檢測項目
漏固、固偏、固反、固重、雜物、未壓平、
芯片相連、短路、共線性等缺陷