產品特點
最小檢測元件：>50μm
檢測速度：3FOV/s（解析度2.4-4μm）
可量化輸出偏移量、旋轉角度、共線性等值
可以據工藝定制光源
最小檢測元件：>200μm
檢測速度≥5FOV/s（解析度4-12μm）
可量化輸出尺寸、間距、共線性等值
最小檢測焊盤：>50μm
四邊檢測速度：＜20s/pcs（解析度2.4μm）
可量化輸出尺寸、漲縮值、間距、共線性等值
